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日本nasgiken簡易微量金屬污染物回收裝置 SC系列 SC-3100 ●通過連接PC創(chuàng)建各種收集模式，并從硅晶片的表面和側(cè)面（斜角部分）收集（采樣）微量金屬污染物。 SC-8100 ●具有即使在親水狀態(tài)的晶圓上也能收集污染物的功能，并且可以對(duì)硅以外的材料制成的晶圓或因體蝕刻等而導(dǎo)致表面變得粗糙的晶圓進(jìn)行采樣。 SC-9100 ●具有即使在親水狀態(tài)的晶圓上也能收集污染物的功能
更新時(shí)間：2024-09-05
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