日本ckd先導(dǎo)式調(diào)節(jié)器 其它專用儀器PMP002

這是一種通過先導(dǎo)空氣控制來穩(wěn)定化學(xué)溶液/純水供給部分的壓力波動的調(diào)節(jié)器。與電動氣動調(diào)節(jié)器結(jié)合，還可以通過遠(yuǎn)程控制改變設(shè)定壓力。

行業(yè)：半導(dǎo)體制造工序（前工序）

產(chǎn)品特點

1.【高精度/高速響應(yīng)】

膜片結(jié)構(gòu)提供高精度壓力穩(wěn)定性和高速響應(yīng)。

由于流路結(jié)構(gòu)中停滯部分較少，因此改善了位移特性。

所有接液部件均采用氟樹脂制成，具有高清潔度和高耐腐蝕性。

2.【減少壓力波動】

可以抑制隔膜泵的脈動。

還可以根據(jù)產(chǎn)品或配方遠(yuǎn)程更改設(shè)定壓力。

3.【新增緊湊型產(chǎn)品陣容】

1/4" 和 3/8" 連接直徑中新增了節(jié)省空間型 PMP002 系列。

日本ckd先導(dǎo)式調(diào)節(jié)器 其它專用儀器PMP002

這是一種通過先導(dǎo)空氣控制來穩(wěn)定化學(xué)溶液/純水供給部分的壓力波動的調(diào)節(jié)器。與電動氣動調(diào)節(jié)器結(jié)合，還可以通過遠(yuǎn)程控制改變設(shè)定壓力。

行業(yè)：半導(dǎo)體制造工序（前工序）

產(chǎn)品特點

1.【高精度/高速響應(yīng)】

膜片結(jié)構(gòu)提供高精度壓力穩(wěn)定性和高速響應(yīng)。

由于流路結(jié)構(gòu)中停滯部分較少，因此改善了位移特性。

所有接液部件均采用氟樹脂制成，具有高清潔度和高耐腐蝕性。

2.【減少壓力波動】

可以抑制隔膜泵的脈動。

還可以根據(jù)產(chǎn)品或配方遠(yuǎn)程更改設(shè)定壓力。

3.【新增緊湊型產(chǎn)品陣容】

1/4" 和 3/8" 連接直徑中新增了節(jié)省空間型 PMP002 系列。