quark/準(zhǔn)分子照射裝置的應(yīng)用是什么？

更新時(shí)間：2023-09-01

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準(zhǔn)分子照射裝置

應(yīng)用實(shí)例

光掩模檢查前的中和

晶圓靜電消除（防止電路損壞）

玻璃表面有機(jī)物去除（干洗）

涂裝前表面改性（提高附著力）

鍍前表面改性（精細(xì)鍍層滲透）

電子基板的預(yù)貼合處理（提高附著力）

什么是準(zhǔn)分子燈？

準(zhǔn)分子燈是一種可以照射真空紫外光的光源，其發(fā)光原理和結(jié)構(gòu)與傳統(tǒng)的放電燈（汞燈、氙燈等）不同。

準(zhǔn)分子燈產(chǎn)生波長為172 nm的真空紫外光（VUV），其光子能量比傳統(tǒng)光清潔和改性中使用的汞燈（波長為185 nm和254 nm）更高。

它可以立即打開和關(guān)閉，不需要空轉(zhuǎn)。

扁平型

半導(dǎo)體	QEF-300SPC	QEF-230SPC	QEF-160	QEF-100	QEF-35ST	QEF-35ST-V126
波長	172納米					126納米
公用事業(yè)	氮?dú)?冷卻水/AC100-240V
分配	±5%		±7%
照射孔徑	φ332mm	218×218毫米	167×167毫米	φ100mm	φ35mm	φ35mm
兼容的工作尺寸	12英寸	8英寸	6寸	4英寸	–	–
照度（最大窗口表面）	80毫瓦/平方厘米	80毫瓦/平方厘米	30毫瓦/平方厘米	30毫瓦/平方厘米	5毫瓦/平方厘米	5毫瓦/平方厘米

管型