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產(chǎn)品分類產(chǎn)品中心/ products
SEL 晶圓裂紋檢測儀 SEL-WCIS,昭和電氣研究所的晶圓檢測設(shè)備專題頁,主要用途是展示其利用光學(xué)與傳感器技術(shù)融合的四大核心檢測產(chǎn)品。適用行業(yè)為半導(dǎo)體制造,專門用于硅(Si)、碳化硅(SiC)等晶圓在生產(chǎn)過程中的裂紋、邊緣缺陷、表面劃痕及形狀精度的自動化檢測與質(zhì)量控制
更新時間:2026-07-10Santec 晶圓幾何參數(shù)測量系統(tǒng) 厚度測量儀 TMS-2000 TMS-2000以非接觸方式測量晶圓的的厚度分布,可以測量精度為1nm的平整度。 當(dāng)在涉及極的端的溫度變化和振動的不穩(wěn)定環(huán)境中使用時,傳統(tǒng)的晶圓厚度映射技術(shù)難以解決精度問題,而TMS-2000具有高的環(huán)境穩(wěn)定性。由于其高速測量能力和緊湊的尺寸,TMS-2000可用于涉及在線檢測的各種工業(yè)領(lǐng)域。
更新時間:2026-07-09日本 Doi Precision Lapping 土井精密 MICRO GRANIT 晶圓/寶石 翹曲 平坦度測量儀 Wafercom 300 是日本土井精密推出的高精度晶圓平坦度測量儀,專用于300mm裸晶圓的非接觸式檢測。它能精準(zhǔn)測量厚度、翹曲及彎曲等參數(shù),適用于半導(dǎo)體制造、LED(藍(lán)寶石基板)及科研領(lǐng)域,確保晶圓加工質(zhì)量。
更新時間:2026-07-08MICRO GRANITE 背磨后薄晶圓厚度測量儀 Real BG300 是日本土井精密推出的晶圓厚度測量設(shè)備,采用非接觸式硅穿透位移傳感器,可測量200/300mm硅片厚度、劃片線及全表面分布,分辨率0.2μm。適用于半導(dǎo)體晶圓研磨后道工序,支持帶框架/保護(hù)膜晶圓檢測,服務(wù)于晶圓廠、封裝測試及半導(dǎo)體設(shè)備制造商。
更新時間:2026-07-08Doi Precision Lapping 光掩模平整檢測設(shè)備 Torin G8 ,該設(shè)備用于高精度測量半導(dǎo)體光掩?;宓暮穸扰c兩面平面度,采用非接觸式激光傳感技術(shù),適用于半導(dǎo)體制造、集成電路光刻、平板顯示及石英基板加工等行業(yè),確保掩模版在芯片制造過程中的精度與良率。
更新時間:2026-07-08Alnair Labs Si/硅晶圓厚度測量儀 實(shí)時監(jiān)測 SIT-200 / SIT-2008 為非接觸式硅晶圓激光厚度傳感器,可在濕法刻蝕中原位實(shí)時測厚,能測量形貌粗糙的晶圓,完成晶圓厚度監(jiān)測、刻蝕進(jìn)程管控。主要用于芯片代工、MEMS 器件、半導(dǎo)體材料制造行業(yè),適配晶圓濕法刻蝕、薄片來料質(zhì)檢、晶圓減薄等半導(dǎo)體制程厚度檢測。
更新時間:2026-07-08日本COMS全自動雙面掃描非接觸晶圓測厚儀 WAP-100XY/WAP-200XY/300XY ,這是一款高精度、非接觸式全自動晶圓厚度測量系統(tǒng)。它利用激光位移傳感器進(jìn)行雙面掃描,通過專用軟件實(shí)現(xiàn)自動化測量與數(shù)據(jù)收集。主要適用于半導(dǎo)體、電子元器件等精密制造行業(yè),有效避免對昂貴晶圓造成損傷。
更新時間:2026-07-09