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lintec-mfc/EtherCAT質(zhì)量流量控制器特征？

更新時間：2023-11-18      瀏覽次數(shù)：753

用于 EtherCAT 通信的高性能質(zhì)量流量控制器。

適用于半導(dǎo)體工藝的高性能質(zhì)量流量控制器 EtherCAT 通信版本。它符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)，可以使用 EtherCAT 通信進(jìn)行控制，該通信用于加速半導(dǎo)體制造設(shè)備的傳輸系統(tǒng)。

標(biāo)準(zhǔn)配備了半導(dǎo)體制造工藝所需的金屬密封件和琳得科的環(huán)境溫度補(bǔ)償流量傳感器，還可以添加與液化氣體兼容等選項。

特征

  • 精度±1%SP

  • 金屬密封

  • 清潔（保證顆粒）

  • 環(huán)境溫度保證傳感器

  • EtherCAT通訊

選項

  • 微流FS

  • 兼容液化氣

  • 大范圍

EtherCAT通信設(shè)備的統(tǒng)一通信

越來越多的半導(dǎo)體制造設(shè)備配備了 EtherCAT 通信（數(shù)字 I/F），用于高速控制機(jī)械臂等運(yùn)輸系統(tǒng)。EtherCAT通信有65,536個節(jié)點(diǎn)，所有MFC測量系統(tǒng)和運(yùn)動系統(tǒng)元件都可以集成到EtherCAT通信中。


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