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更新時間：2023-12-05 
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自動化晶圓處理 > 檢查工具 > WPR-單晶圓展示器-旋轉
描述
自動單晶圓展示器設計用于將晶圓呈現(xiàn)給操作員以進行檢查或從晶圓盒中取出晶圓以及用于宏觀檢查應用。WPR 可用于晶圓翻轉（反轉）晶圓 180°，用于背面應用。專為 ISO 等級 3（FS209E 等級 1）設計；抗靜電結構。
WPR 的特點：
旋轉升降葉片允許從一個操作員位置進行完整的正面和背面晶圓檢查。
規(guī)格
晶圓尺寸76, 100, 150, 200
電源要求220VAC 至 24VDC 3 安培 電源單獨出售
產(chǎn)品尺寸16"寬 x 14"長 x 21"高
重量50磅
附加信息
裝運重量220磅
裝運尺寸15 × 12 × 20 英寸
WPR 可用于晶圓翻轉（反轉）晶圓 180°，用于背面應用。專為 ISO 等級 3（FS209E 等級 1）設計；抗靜電結構
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