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更新時間：2024-03-07 
瀏覽次數(shù)：841激光掃描表面形狀檢查機
核心系統(tǒng)“CSYS"系列的激光掃描寬度為40毫米，可以測量大范圍內的微小高度變化。其他公司無法重現(xiàn)實際的表面變化，因為它們將小區(qū)域的數(shù)據(jù)圖像拼接在一起。
核心系統(tǒng)是“激光表面形狀檢查機"，可檢查半導體晶圓（Si、SiC、GaN等）、MEMS、硬盤、FPD用功能膜、濺射薄膜等的“表面形狀"和“粗糙度"。可以高靈敏度、快速、大范圍地檢查“起伏"、“顆粒"、“劃痕"，并顯示“數(shù)字數(shù)據(jù)"和“3D圖像數(shù)據(jù)" ."
【特征】
① 非接觸式激光掃描顯示表面形狀（粗糙度、波紋度、劃痕、污垢、顆粒）測量數(shù)據(jù)
② 檢測靈敏度高，可在較寬的測量范圍內進行快速測量，并可進行數(shù)字圖像顯示。
③ 光學檢測原理和結構簡單，可靠性高
④ 由于40毫米的掃描寬度是在2.8毫秒的短時間內完成掃描的，因此具有的抗振能力，不需要隔振臺或隔振裝置。
⑤ 所有在線過程的無損檢測，可實現(xiàn)自動化
[被測工件]
半導體晶圓、硬盤、金屬薄膜、薄膜、FPD、MEMS等
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