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TORAY LC-450A寬量程氧濃度計(jì)在半導(dǎo)體與液晶制造生產(chǎn)線上的應(yīng)用

更新時(shí)間:2026-07-15      瀏覽次數(shù):43
在半導(dǎo)體與液晶面板的精密制造領(lǐng)域,生產(chǎn)環(huán)境的純凈度直接決定了產(chǎn)品的良率與性能。氧氣作為一種常見的活性氣體,其濃度的精確監(jiān)控是保障工藝穩(wěn)定性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。TORAY(東麗)LC-450A寬量程氧濃度計(jì),正是為此類嚴(yán)苛應(yīng)用而生的專業(yè)解決方案。

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應(yīng)對復(fù)雜工藝,一臺(tái)設(shè)備覆蓋全量程

半導(dǎo)體和液晶制造的生產(chǎn)線涉及多種工藝步驟,對氣體純度的要求各不相同。從需要監(jiān)控微量氧泄漏的高純氮?dú)猸h(huán)境,到需要精確控制氧含量的特定反應(yīng)腔室,氣體中的氧濃度跨度極大。
LC-450A的核心優(yōu)勢在于其超寬的測量范圍,能夠?qū)崿F(xiàn)從0.1ppm(百萬分之0.1)到100vol% O?的連續(xù)、精確測量。這意味著,無論是監(jiān)測ppm級(jí)別的微量氧,還是分析接近純氧的環(huán)境,一臺(tái)LC-450A即可勝任,無需為不同工位配置多臺(tái)不同量程的分析儀。其自動(dòng)量程切換功能,更能無縫銜接不同濃度的監(jiān)測需求,簡化了設(shè)備管理,提升了生產(chǎn)效率。


專為精密環(huán)境設(shè)計(jì),兼顧耐用與緊湊

在寸土又寸金的生產(chǎn)線或集成于大型制造設(shè)備內(nèi)部時(shí),分析儀的尺寸和可靠性至關(guān)重要。
  • 緊湊機(jī)身,易于集成:LC-450A擁有小巧的機(jī)身設(shè)計(jì),深度僅為300mm,可以輕松嵌入到半導(dǎo)體制造裝置、液晶面板生產(chǎn)線或手套箱等設(shè)備中,不占用寶貴的安裝空間。

  • 高耐用性傳感器:設(shè)備搭載了東麗自有的超小型氧化鋯傳感器,并經(jīng)過特殊工藝處理,顯著提升了傳感器的耐用性。這確保了在長期連續(xù)運(yùn)行的工業(yè)環(huán)境中,依然能保持高精度和穩(wěn)定性,減少了維護(hù)和更換頻率。

  • 快速響應(yīng):具備出色的響應(yīng)速度,90%的響應(yīng)時(shí)間在30秒以內(nèi),能夠及時(shí)捕捉氣體濃度的瞬時(shí)變化,為工藝的快速調(diào)整提供可靠的數(shù)據(jù)支持。


多重防護(hù)選配,確保測量精準(zhǔn)可靠

精密制造過程中使用的氣體可能含有微量雜質(zhì),這些雜質(zhì)可能會(huì)損害傳感器或干擾測量結(jié)果。LC-450A提供了多種選配過濾器,為傳感器提供定制化保護(hù):
  1. 活性炭過濾器:用于吸附氣體中可能存在的微量有機(jī)物和可燃?xì)怏w,防止其在高溫傳感器內(nèi)部發(fā)生燃燒,影響測量準(zhǔn)確性。

  2. 棉質(zhì)過濾器:作為初級(jí)物理屏障,有效阻擋灰塵和固體顆粒進(jìn)入儀器內(nèi)部,避免污染氣路和傳感器。

  3. Si過濾器:專門用于吸附含硅氣體,防止硅化物在傳感器上沉積導(dǎo)致其性能劣化,這對于使用硅烷等氣體的半導(dǎo)體工藝尤為重要。


穩(wěn)定運(yùn)行,智能監(jiān)控

LC-450A的設(shè)計(jì)充分考慮了工業(yè)現(xiàn)場的復(fù)雜性和易用性。
  • 寬電壓電源:支持AC100V~240V的寬范圍電源輸入,能夠適應(yīng)全球不同地區(qū)的電力標(biāo)準(zhǔn),為設(shè)備的全球化部署提供了便利。

  • 完的善的自我診斷功能:設(shè)備內(nèi)置了非常強(qiáng)的自診斷系統(tǒng),可實(shí)時(shí)監(jiān)控傳感器溫度、爐溫、CPU狀態(tài)等多種關(guān)鍵參數(shù)。一旦檢測到異常,會(huì)立即發(fā)出警報(bào),幫助技術(shù)人員快速定位并解決問題,最大限度地減少停機(jī)時(shí)間。

  • 多樣化信號(hào)輸出:標(biāo)配模擬輸出(4-20mA)和RS-232C串行通信接口,可以方便地與PLC、DCS或上位機(jī)系統(tǒng)連接,實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的遠(yuǎn)程采集、監(jiān)控和記錄,輕松融入工廠的自動(dòng)化管理體系。


總而言之,TORAY LC-450A憑借其全量程測量能力、優(yōu)秀的耐用性、緊湊的設(shè)計(jì)和智能化的監(jiān)控功能,為半導(dǎo)體與液晶制造生產(chǎn)線提供了一個(gè)可靠、高效且靈活的氣體純度監(jiān)控方案,是保障高的端的制造工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品良率的理想選擇。



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