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產(chǎn)品分類
更新時(shí)間:2026-07-15
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緊湊機(jī)身,易于集成:LC-450A擁有小巧的機(jī)身設(shè)計(jì),深度僅為300mm,可以輕松嵌入到半導(dǎo)體制造裝置、液晶面板生產(chǎn)線或手套箱等設(shè)備中,不占用寶貴的安裝空間。
高耐用性傳感器:設(shè)備搭載了東麗自有的超小型氧化鋯傳感器,并經(jīng)過特殊工藝處理,顯著提升了傳感器的耐用性。這確保了在長期連續(xù)運(yùn)行的工業(yè)環(huán)境中,依然能保持高精度和穩(wěn)定性,減少了維護(hù)和更換頻率。
快速響應(yīng):具備出色的響應(yīng)速度,90%的響應(yīng)時(shí)間在30秒以內(nèi),能夠及時(shí)捕捉氣體濃度的瞬時(shí)變化,為工藝的快速調(diào)整提供可靠的數(shù)據(jù)支持。
活性炭過濾器:用于吸附氣體中可能存在的微量有機(jī)物和可燃?xì)怏w,防止其在高溫傳感器內(nèi)部發(fā)生燃燒,影響測量準(zhǔn)確性。
棉質(zhì)過濾器:作為初級(jí)物理屏障,有效阻擋灰塵和固體顆粒進(jìn)入儀器內(nèi)部,避免污染氣路和傳感器。
Si過濾器:專門用于吸附含硅氣體,防止硅化物在傳感器上沉積導(dǎo)致其性能劣化,這對于使用硅烷等氣體的半導(dǎo)體工藝尤為重要。
寬電壓電源:支持AC100V~240V的寬范圍電源輸入,能夠適應(yīng)全球不同地區(qū)的電力標(biāo)準(zhǔn),為設(shè)備的全球化部署提供了便利。
完的善的自我診斷功能:設(shè)備內(nèi)置了非常強(qiáng)的自診斷系統(tǒng),可實(shí)時(shí)監(jiān)控傳感器溫度、爐溫、CPU狀態(tài)等多種關(guān)鍵參數(shù)。一旦檢測到異常,會(huì)立即發(fā)出警報(bào),幫助技術(shù)人員快速定位并解決問題,最大限度地減少停機(jī)時(shí)間。
多樣化信號(hào)輸出:標(biāo)配模擬輸出(4-20mA)和RS-232C串行通信接口,可以方便地與PLC、DCS或上位機(jī)系統(tǒng)連接,實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的遠(yuǎn)程采集、監(jiān)控和記錄,輕松融入工廠的自動(dòng)化管理體系。
總而言之,TORAY LC-450A憑借其全量程測量能力、優(yōu)秀的耐用性、緊湊的設(shè)計(jì)和智能化的監(jiān)控功能,為半導(dǎo)體與液晶制造生產(chǎn)線提供了一個(gè)可靠、高效且靈活的氣體純度監(jiān)控方案,是保障高的端的制造工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品良率的理想選擇。
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