在半導(dǎo)體濕法清洗工序中，酸堿藥液循環(huán)管路的流體狀態(tài)直接影響晶圓清洗品質(zhì)。一旦管路出現(xiàn)斷流、流量不足，極易造成晶圓表面蝕刻不均、清洗缺陷，帶來高額生產(chǎn)損耗，因此腐蝕性藥液回路需要可靠的流量監(jiān)測(cè)部件，ChemTec LPH3753TWNO 防腐流量開關(guān)成為眾多設(shè)備廠商的優(yōu)選方案。
這款流量開關(guān)為活塞磁簧式結(jié)構(gòu)，殼體采用 PTFE 特氟龍材質(zhì)，可耐受各類強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、剝離液、蝕刻液等化學(xué)介質(zhì)，完的美的適配半導(dǎo)體濕制程腐蝕工況，解決普通亞克力流量開關(guān)不耐化學(xué)藥液、容易被腐蝕開裂的痛點(diǎn)。
工作時(shí)，藥液自下而上流通，推動(dòng)腔體內(nèi)部帶磁活塞向上位移，達(dá)到設(shè)定流量閾值后，內(nèi)置磁鐵觸發(fā)干簧管，輸出無源開關(guān)信號(hào)；當(dāng)管路斷流或者流量偏低，活塞依靠自重回落，觸點(diǎn)隨即復(fù)位，及時(shí)向控制系統(tǒng)推送報(bào)警信號(hào)，實(shí)現(xiàn)藥液回路斷流預(yù)警與設(shè)備聯(lián)鎖保護(hù)。
和常規(guī)可視型流量開關(guān)相比，LPH3753TWNO 側(cè)重強(qiáng)腐蝕場(chǎng)景，全 PTFE 過流腔體無易腐蝕密封件，介質(zhì)僅接觸特氟龍與內(nèi)部惰性組件，大幅降低藥液滲漏風(fēng)險(xiǎn)。無需復(fù)雜供電改造，無源觸點(diǎn)可以直接對(duì)接 PLC、設(shè)備控制器，安裝便捷，僅要求垂直安裝、介質(zhì)流向自下而上，就能長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
應(yīng)用價(jià)值
半導(dǎo)體濕法清洗、蝕刻、顯影設(shè)備的藥液循環(huán)管路，介質(zhì)具備強(qiáng)腐蝕性，常規(guī)流量監(jiān)測(cè)元件很容易被藥液侵蝕失效。ChemTec LPH3753TWNO 依靠?jī)?yōu)異耐化學(xué)特性，持續(xù)監(jiān)測(cè)藥液通斷狀態(tài)，第一時(shí)間發(fā)現(xiàn)管路堵塞、泵體空轉(zhuǎn)、管路漏液等異常，及時(shí)停機(jī)保護(hù)晶圓，減少不良品產(chǎn)出，保障半導(dǎo)體濕法工藝流程連續(xù)穩(wěn)定。
選型小提示
若工況為冷卻水、弱腐蝕潔凈液體，可選用同系列亞克力可視款 LPH3753AWNO；當(dāng)介質(zhì)是強(qiáng)酸堿化學(xué)藥液，優(yōu)先選用 PTFE 材質(zhì) LPH3753TWNO 防腐流量開關(guān)，匹配不同流體場(chǎng)景的監(jiān)測(cè)需求。
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更新時(shí)間：2026-07-22 
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