Laurell ø200mm晶圓濕法旋涂儀勻膠機(jī) 清洗

簡要描述：Laurell ø200mm晶圓濕法旋涂儀勻膠機(jī) 清洗 WS-650-8B，是一款臺式旋涂儀，主要用于在晶圓或基片上進(jìn)行涂覆、刻蝕、顯影、清洗等精密工藝。它廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生物技術(shù)和納米技術(shù)等行業(yè)。

產(chǎn)品詳情

品牌	其他品牌	產(chǎn)地類別	進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合

Laurell WS-650-8B 是一款結(jié)構(gòu)緊湊、功能優(yōu)良的臺式旋涂儀，專為半導(dǎo)體、生物技術(shù)和納米技術(shù)領(lǐng)域的精密涂覆工藝而設(shè)計(jì)。

Laurell ?200mm晶圓濕法旋涂儀勻膠機(jī) 清洗

緊湊設(shè)計(jì)：作為一款臺式設(shè)備，WS-650-8B 結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間。
強(qiáng)的大的兼容性：能夠處理直徑達(dá) 200毫米的晶圓以及 7英寸×7英寸（178毫米×178毫米）的基片。
高性能驅(qū)動：最高轉(zhuǎn)速可達(dá) 12,000轉(zhuǎn)/分鐘（以100毫米硅晶圓為基準(zhǔn)），滿足高精度涂覆需求。
智能控制：配備650系列過程控制器，采用高性能微處理器，允許操作員在流程中實(shí)時(shí)交互（如暫停、停止、繼續(xù)）。系統(tǒng)支持通過PC軟件進(jìn)行遠(yuǎn)程操作、記錄和編程，并可進(jìn)行固件升級。

卓的越的耐化學(xué)性：設(shè)備外殼由勞雷爾自家研發(fā)的固態(tài)共聚物混合材料制成，能耐受溶劑、強(qiáng)酸和強(qiáng)堿。也可選配特氟龍®（Teflon®）外殼，適用于高溫化學(xué)工藝。
潔凈工藝：采用封閉式腔體設(shè)計(jì)和專有的迷宮式密封，可有效防止化學(xué)品污染電機(jī)和電子元件，并支持氮?dú)獯祾?，確保在亞微米級別上無顆粒污染。
多重安全保障：具備完的善的電氣隔離、防誤操作門聯(lián)鎖，并通過了ETL、UL、CSA、CE和RoHS等多項(xiàng)安全認(rèn)證，確保長期安全穩(wěn)定運(yùn)行。
工藝保護(hù)：獨(dú)特的“工藝保護(hù)"功能可防止在同一基片上意外重復(fù)運(yùn)行相同工藝，避免操作失誤。

WS-650-8B 提供多種選配項(xiàng)以滿足不同應(yīng)用需求：

該系列設(shè)備通常用于基于溶劑、堿或酸的多種工藝，包括：

Laurell ?200mm晶圓濕法旋涂儀勻膠機(jī) 清洗 WS-650-8B，是一款臺式旋涂儀，主要用于在晶圓或基片上進(jìn)行涂覆、刻蝕、顯影、清洗等精密工藝。它廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生物技術(shù)和納米技術(shù)等行業(yè)。

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