美國(guó)Laurell ø300mm旋涂機(jī)

產(chǎn)品型號(hào)：H6-15
更新時(shí)間：2024-09-02

簡(jiǎn)要描述：美國(guó)Laurell ø300mm旋涂機(jī) H6-15
勞雷爾 H6-15?旋涂機(jī) 結(jié)構(gòu)緊湊，功能先進(jìn)，是安裝在手套箱中最的簡(jiǎn)單的旋涂機(jī)。這款 650 系列HL涂布機(jī)系統(tǒng)可容納直徑最的大為ø 300mm 的晶圓和 9“ × 9“ (229mm × 229mm) 的基板，最的大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM（基于ø 100mm 硅晶圓）。

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品牌	其他品牌	產(chǎn)地類別	進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

美國(guó)Laurell ?300mm旋涂機(jī) H6-15

勞雷爾 H6-15旋涂機(jī) 結(jié)構(gòu)緊湊，功能先進(jìn)，是安裝在手套箱中最的簡(jiǎn)單的旋涂機(jī)。這款 650 系列HL涂布機(jī)系統(tǒng)可容納直徑最的大為? 300mm 的晶圓和 9" × 9" (229mm × 229mm) 的基板，最的大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM（基于? 100mm 硅晶圓）。

封閉式碗狀設(shè)計(jì)，加上過程控制器的精確性，可使大多數(shù)涂層材料在靜止?fàn)顟B(tài)下干燥，從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內(nèi)部關(guān)閉，以提供重疊密封，蓋子內(nèi)部有一個(gè)特殊的排水溝，用于將流體引導(dǎo)到系統(tǒng)后部，以防止化學(xué)品意外滴落到基材上。

美國(guó)Laurell ?300mm旋涂機(jī) H6-15

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