ProSys儀器MegPie V3兆聲波Megasonic換能器

產(chǎn)品型號：
更新時間：2026-06-10

簡要描述：ProSys儀器MegPie V3兆聲波Megasonic換能器，該產(chǎn)品主要用于半導體制造中的晶圓清洗和聲化學處理。

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產(chǎn)品詳情

品牌	其他品牌	產(chǎn)地類別	進口
應用領域	環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合

ProSys 公司的一款名為 MegPie™ V3 的兆聲波（Megasonic）換能器產(chǎn)品。該產(chǎn)品主要用于半導體制造中的晶圓清洗和聲化學處理。

ProSys儀器MegPie V3兆聲波Megasonic換能器

產(chǎn)品簡介

MegPie™ V3 是一款用于非接觸式清洗或聲化學處理的換能器。它專為處理單個旋轉(zhuǎn)基板（如晶圓）而設計，能夠提供徑向均勻的聲能劑量，從而在保證低運營成本的同時提升工藝效果。該產(chǎn)品被描述為 FEOL（前道工序）/ BEOL（后道工序）顆粒去除、CMP（化學機械拋光）后清洗、掩模清洗等應用的行業(yè)標準。

主要特性與優(yōu)勢

高效清洗能力：顆粒去除效率（PRE）≥ 98%，可去除小至 19 nm 的顆粒，且能覆蓋晶圓的每一個部分。
均勻的聲場分布：采用徑向均勻場設計，確保晶圓表面受力均勻。
耐用且維護成本低：

平均無的故的障時間（MTBF）≥ 209,000 小時。
無預防性維護（No PM），無耗材。
300mm 晶圓的工藝流體消耗量低于 1 lpm。

先進的監(jiān)測系統(tǒng)：配備 IMPulse™ 系統(tǒng)，可實時監(jiān)測聲劑量、反射功率、溫度和電氣參數(shù)，確保工藝一致性。
材料與化學兼容性：

采用單晶藍寶石諧振器，具有零顆粒添加、無表面凹坑的優(yōu)點。
也有不銹鋼版本適用于溶劑應用。

關于公司

ProSys 自 1996 年以來一直是兆聲波增強處理領域的全球領的導的者，專注于精密射頻（RF）電子產(chǎn)品。

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