日本 rexxam清洗?干燥裝置臺式型

產品型號：SCRD4
更新時間：2024-08-22

簡要描述：日本 rexxam清洗?干燥裝置臺式型SCRD4
清洗?干燥裝置是使用不會產生毛細管力?表面張力的超臨界流體，可使超微細構件得到清洗?干燥且不會造成變形或破壞。
用途
1.連采用IPA（異丙醇）干燥都會受損的、具有超微細結構的晶圓。
2.具有縱橫比較大的MEMS等微細結構的晶圓。
3.硅氣凝膠那樣具有納米量級極細空間的材料制備。
4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除、剝離等。

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產品詳情

品牌	其他品牌	產地類別	進口
應用領域	綜合

日本 rexxam清洗?干燥裝置臺式型SCRD4

清洗?干燥裝置是使用不會產生毛細管力?表面張力的超臨界流體，可使超微細構件得到清洗?干燥且不會造成變形或破壞。

用途

1.連采用IPA（異丙醇）干燥都會受損的、具有超微細結構的晶圓。

2.具有縱橫比較大的MEMS等微細結構的晶圓。

3.硅氣凝膠那樣具有納米量級極細空間的材料制備。

4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除、剝離等。

規(guī)格

使用流體	CO2
使用壓力	14MPa
使用溫度	40℃
腔室	內徑φ110×26mm
安全功能	電氣安全裝置、機械安全裝置、防過熱保護
控制面板	采用觸摸屏進行運轉程序設定
外形尺寸	（W）600×（D）450×（H）400mm（含手柄）
重量	約60kg
電源	AC100V 50/60Hz 10A

日本 rexxam清洗?干燥裝置臺式型SCRD4

清洗?干燥裝置是使用不會產生毛細管力?表面張力的超臨界流體，可使超微細構件得到清洗?干燥且不會造成變形或破壞。

用途

1.連采用IPA（異丙醇）干燥都會受損的、具有超微細結構的晶圓。

2.具有縱橫比較大的MEMS等微細結構的晶圓。

3.硅氣凝膠那樣具有納米量級極細空間的材料制備。

4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除、剝離等。

規(guī)格

使用流體	CO2
使用壓力	14MPa
使用溫度	40℃
腔室	內徑φ110×26mm
安全功能	電氣安全裝置、機械安全裝置、防過熱保護
控制面板	采用觸摸屏進行運轉程序設定
外形尺寸	（W）600×（D）450×（H）400mm（含手柄）
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