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產(chǎn)品分類產(chǎn)品中心/ products
產(chǎn)品型號：VM-1020
更新時間：2026-06-10簡要描述：SCREEN 光干涉膜厚儀 2-12寸晶圓通用VM-1020，這是一款專為研發(fā)（R&D）設(shè)計的顯微鏡型測量設(shè)備，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
高速高精度測量：采用光纖輸入型 CCD 光譜儀，能夠同時測量全波段光譜，配合高性能 CPU 進行高速運算，可立即顯示膜厚數(shù)值。
操作簡便：系統(tǒng)內(nèi)置“配方向?qū)?功能，極大地簡化了復(fù)雜配方的創(chuàng)建過程，同時改進了配方的注冊與管理。
專為研發(fā)設(shè)計：其顯微鏡結(jié)構(gòu)使其特別適合在研發(fā)環(huán)境中進行精確的局部測量。
多層膜測量：支持 25 種類型的層狀薄膜測量（UV 模式下支持 29 種），并可同時測量最多 四層 的層狀薄膜。
光譜分析：能夠測量光譜反射率。
數(shù)據(jù)可視化：提供測量數(shù)據(jù)的三維映射圖及其他統(tǒng)計輸出。
蝕刻率計算：可計算蝕刻速率。
自定義功能：允許用戶注冊新的薄膜類型。
| 項目 | 詳細參數(shù) |
|---|---|
| 產(chǎn)品名稱 | VM-1020 |
| 產(chǎn)品類型 | 光譜膜厚測量系統(tǒng) |
| 適用場景 | 研發(fā)（R&D） |
| 晶圓尺寸 | 50mm - 300mm |
SCREEN 光干涉膜厚儀 2-12寸晶圓通用VM-1020，這是一款專為研發(fā)（R&D）設(shè)計的顯微鏡型測量設(shè)備，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。
SCREEN 光干涉膜厚儀 2-12寸晶圓通用VM-1020，這是一款專為研發(fā)（R&D）設(shè)計的顯微鏡型測量設(shè)備，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。
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