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SCREEN 光干涉膜厚儀 2-12寸晶圓通用

  • 產(chǎn)品型號：VM-1020
  • 更新時間：2026-06-10

簡要描述：SCREEN 光干涉膜厚儀 2-12寸晶圓通用VM-1020，這是一款專為研發(fā)（R&D）設(shè)計的顯微鏡型測量設(shè)備，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。

產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域綜合
SCREEN Semiconductor Solutions 推出的 VM-1020 光譜膜厚測量系統(tǒng)。這是一款專為研發(fā)（R&D）設(shè)計的顯微鏡型測量設(shè)備，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。

SCREEN 光干涉膜厚儀 2-12寸晶圓通用

產(chǎn)品概覽


VM-1020 是一款結(jié)合了顯微鏡和光譜儀的精密儀器。它通過分析樣品表面的反射光，在可見光范圍內(nèi)同時測量所有波長，從而實(shí)現(xiàn)對薄膜厚度的快速、高精度測定。


核心特性


  • 高速高精度測量：采用光纖輸入型 CCD 光譜儀，能夠同時測量全波段光譜，配合高性能 CPU 進(jìn)行高速運(yùn)算，可立即顯示膜厚數(shù)值。

  • 操作簡便：系統(tǒng)內(nèi)置“配方向?qū)?功能，極大地簡化了復(fù)雜配方的創(chuàng)建過程，同時改進(jìn)了配方的注冊與管理。

  • 專為研發(fā)設(shè)計：其顯微鏡結(jié)構(gòu)使其特別適合在研發(fā)環(huán)境中進(jìn)行精確的局部測量。


主要測量功能


該系統(tǒng)具備強(qiáng)的大的分析能力，可滿足多樣化的測量需求：

  • 多層膜測量：支持 25 種類型的層狀薄膜測量（UV 模式下支持 29 種），并可同時測量最多 四層 的層狀薄膜。

  • 光譜分析：能夠測量光譜反射率。

  • 數(shù)據(jù)可視化：提供測量數(shù)據(jù)的三維映射圖及其他統(tǒng)計輸出。

  • 蝕刻率計算：可計算蝕刻速率。

  • 自定義功能：允許用戶注冊新的薄膜類型。


技術(shù)規(guī)格

項(xiàng)目詳細(xì)參數(shù)
產(chǎn)品名稱VM-1020
產(chǎn)品類型光譜膜厚測量系統(tǒng)
適用場景研發(fā)（R&D）
晶圓尺寸50mm - 300mm


SCREEN 光干涉膜厚儀  2-12寸晶圓通用VM-1020，這是一款專為研發(fā)（R&D）設(shè)計的顯微鏡型測量設(shè)備，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。


SCREEN 光干涉膜厚儀  2-12寸晶圓通用VM-1020，這是一款專為研發(fā)（R&D）設(shè)計的顯微鏡型測量設(shè)備，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。



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