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產(chǎn)品分類產(chǎn)品中心/ products





產(chǎn)品型號(hào):VM-1020
更新時(shí)間:2026-06-10簡要描述:SCREEN OLED/液晶/半導(dǎo)體晶圓檢測用干涉儀VM-1020,這是一款專為研發(fā)(R&D)設(shè)計(jì)的顯微鏡型測量設(shè)備,旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |

高速高精度測量:采用光纖輸入型 CCD 光譜儀,能夠同時(shí)測量全波段光譜,配合高性能 CPU 進(jìn)行高速運(yùn)算,可立即顯示膜厚數(shù)值。
操作簡便:系統(tǒng)內(nèi)置“配方向?qū)?功能,極大地簡化了復(fù)雜配方的創(chuàng)建過程,同時(shí)改進(jìn)了配方的注冊(cè)與管理。
專為研發(fā)設(shè)計(jì):其顯微鏡結(jié)構(gòu)使其特別適合在研發(fā)環(huán)境中進(jìn)行精確的局部測量。
多層膜測量:支持 25 種類型的層狀薄膜測量(UV 模式下支持 29 種),并可同時(shí)測量最多 四層 的層狀薄膜。
光譜分析:能夠測量光譜反射率。
數(shù)據(jù)可視化:提供測量數(shù)據(jù)的三維映射圖及其他統(tǒng)計(jì)輸出。
蝕刻率計(jì)算:可計(jì)算蝕刻速率。
自定義功能:允許用戶注冊(cè)新的薄膜類型。
| 項(xiàng)目 | 詳細(xì)參數(shù) |
|---|---|
| 產(chǎn)品名稱 | VM-1020 |
| 產(chǎn)品類型 | 光譜膜厚測量系統(tǒng) |
| 適用場景 | 研發(fā)(R&D) |
| 晶圓尺寸 | 50mm - 300mm |
SCREEN OLED/液晶/半導(dǎo)體晶圓檢測用干涉儀VM-1020,這是一款專為研發(fā)(R&D)設(shè)計(jì)的顯微鏡型測量設(shè)備,旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。
SCREEN OLED/液晶/半導(dǎo)體晶圓檢測用干涉儀VM-1020,這是一款專為研發(fā)(R&D)設(shè)計(jì)的顯微鏡型測量設(shè)備,旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。