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大塚SM-100光學(xué)干涉法無損薄膜厚度測量儀

  • 產(chǎn)品型號:SM-100S / SM-100P
  • 更新時間:2026-06-10

簡要描述:大塚SM-100光學(xué)干涉法無損薄膜厚度測量儀SM-100S / SM-100P,適用于平整表面的樣品,如薄膜、玻璃等快速驗證不同工藝參數(shù)下的薄膜厚度。

產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌價格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域綜合
日本大塚電子(Otsuka Electronics)的便攜式薄膜厚度測量儀——Smart Thickness Gauge SM-100 series。這是一款專為解決傳統(tǒng)膜厚測量痛點而設(shè)計的高精度、手持式設(shè)備。

大塚SM-100光學(xué)干涉法無損薄膜厚度測量儀


產(chǎn)品核心亮點


這款智能膜厚計旨在解決“無法在生產(chǎn)現(xiàn)場即時測量"、“測量結(jié)果因人而異"以及“精度不佳"等常見問題。其主要特點如下:
  • 便攜易用:整機重量僅 1.1公斤,輕巧便攜。內(nèi)置電池和觸摸屏,無需連接外部電腦,開機即用,操作直觀,無需專業(yè)培訓(xùn)。

  • 高精度測量:采用分光干涉法,即使作為手持設(shè)備,也能實現(xiàn) 0.1微米 級別的高精度測量,且無需為每種材料制作校準(zhǔn)曲線。

  • 非接觸與非破壞性:測量過程不會對樣品造成任何損傷,適用于各種脆弱或昂貴的薄膜材料。

  • 適應(yīng)性強:不僅能測量平面,通過更換不同探頭,還可以測量有形狀、不規(guī)則的樣品,甚至可以測量生產(chǎn)線上的大型固定樣品,無需切割取樣。


主要規(guī)格


以下是該系列產(chǎn)品的主要型號規(guī)格對比:
項目Pro (專業(yè)版)Standard (標(biāo)準(zhǔn)版)
測量范圍0.1 ~ 200 μm1 ~ 200 μm
測量精度±0.01 μm (10μm以下時)±0.1 μm (10μm以下時)
光源白色LED白色LED
顯示/操作內(nèi)置觸摸屏內(nèi)置觸摸屏
電源內(nèi)置可充電電池內(nèi)置可充電電池
注:測量范圍和精度會因樣品材料的折射率等因素而有所變化。


測量對象與應(yīng)用場景


這款設(shè)備的應(yīng)用范圍非常廣泛,主要包括:
  • 光學(xué)薄膜:如反射防止膜、硬涂層等。

  • 半導(dǎo)體:如氧化膜、光刻膠(Resist)膜等。

  • 各類功能薄膜:包括食品包裝膜、醫(yī)療用膜、建材用膜等。


場景舉例


  • 生產(chǎn)現(xiàn)場:可以直接拿到生產(chǎn)線,對正在加工的產(chǎn)品進(jìn)行實時抽檢。

  • 大型樣品:對于無法移動或切割的大型卷材、建材等,可以直接在現(xiàn)場進(jìn)行測量。

  • 研發(fā)實驗室:快速驗證不同工藝參數(shù)下的薄膜厚度。


可選配件


為了適應(yīng)更多測量需求,該產(chǎn)品還提供多種可選探頭:
  • 標(biāo)準(zhǔn)探頭:適用于平整表面的樣品,如薄膜、玻璃等。

  • 筆式探頭 (Pen-type Probe):適用于狹窄空間或有復(fù)雜形狀的樣品。

  • 非接觸式測量臺 (Non-contact Stage):適用于不能接觸的樣品,如濕膜、半導(dǎo)體晶圓(Wafer)等,可自由設(shè)定探頭位置進(jìn)行非接觸測量。



大塚SM-100光學(xué)干涉法無損薄膜厚度測量儀SM-100S / SM-100P,適用于平整表面的樣品,如薄膜、玻璃等快速驗證不同工藝參數(shù)下的薄膜厚度。

大塚SM-100光學(xué)干涉法無損薄膜厚度測量儀SM-100S / SM-100P,適用于平整表面的樣品,如薄膜、玻璃等快速驗證不同工藝參數(shù)下的薄膜厚度。




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